微机电系统(MEMS)及相关致动器凸块、制造方法和设计结构

摘要

提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板（10）上形成配线层（14），包括致动器电极（115）和接触电极（110）。该方法还包括在配线层（14）上方形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成附着到MEMS梁（100）的至少一端的至少一个弹簧（200）。该方法还包括在配线层（14）和MEMS梁（100）之间形成微型凸块（105’）的阵列。

主权项

一种形成微机电系统MEMS结构的方法，包括：在基板上形成配线层，包括致动器电极和接触电极；在该配线层上方形成MEMS梁；形成至少一个弹簧，附着到该MEMS梁的至少一端；在该配线层和该MEMS梁之间形成微型凸块阵列；以及在释放后确定该MEMS梁的横向偏移，并且基于该确定的横向偏移，在该致动器电极之间形成虚设致动器形状和间隔之一，从而该微型凸块阵列与其对齐。