| 发明名称 |
一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置 |
| 摘要 |
本发明公开了一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具；所述下夹具和上夹具用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱上设置有多个凹陷，用于固定下夹具和上夹具。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时生产工装装置具有结构简单，易于制造的优点。 |
| 申请公布号 |
CN104386683B |
申请公布日期 |
2017.05.03 |
| 申请号 |
CN201410754619.1 |
申请日期 |
2014.12.11 |
| 申请人 |
重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
发明人 |
钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 |
| 分类号 |
C01B32/184(2017.01)I |
主分类号 |
C01B32/184(2017.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，其特征在于：包括底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（4）和上夹具（5）；所述下夹具（4）和上夹具（5）用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱（2）上设置有多个凹陷（3），用于固定下夹具（4）和上夹具（5）的组合。 |
| 地址 |
401329 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号 |
