探针卡和检查装置

摘要

提供一种探针卡和检查装置，以限制探针卡在测试对象检查过程中的变形并且抑制探针卡的平坦度的降低。探针卡是与测试对象接触以执行检查的探针卡，该探针卡具有：探针基板，其在第一表面上设置有多个探针并且在第二表面上设置有多个固定件接收部；以及支撑体，其被布置成支撑探针基板的外周，在探针基板的第二表面上，在探针存在区域内至少配置有彼此等距离地规则布置的多个固定件接收部。

主权项

一种探针卡，其通过与测试对象接触来执行检查，所述探针卡包括：探针基板，其具有第一表面和第二表面；多个探针，其配置在所述探针基板的所述第一表面；多个固定件接收部，其配置在所述探针基板的所述第二表面；以及支撑体，其布置成支撑所述探针基板的外周，其中，所述第二表面限定了探针存在区域，以及在所述探针存在区域内所述固定件接收部彼此等距离地规则布置，并且由彼此等距离相邻地规则配置的所述多个固定件接收部形成的每个单元的形状具有相等的面积。