发明名称 |
用于控制设备工程系统的良品率预测反馈 |
摘要 |
良品率预测由安排及分派控制器接收,其中该良品率预测有关于制造工具和产品。基于该良品率预测在路由算法中调整该制造工具的权重。计算成本‑利润分析,其确定在该制造工具上制造将来产品的成本和利润;以及基于该成本‑利润分析,决定是否在该制造工具上处理将来产品。 |
申请公布号 |
CN101965569B |
申请公布日期 |
2017.05.03 |
申请号 |
CN200980107872.5 |
申请日期 |
2009.02.06 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
詹姆士·莫尼;尼古拉斯·沃德;理查德·斯塔福德 |
分类号 |
G05B19/418(2006.01)I;G06Q10/06(2012.01)I;G06Q50/04(2012.01)I |
主分类号 |
G05B19/418(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种用于响应于良品率预测而执行自动动作的由计算机实施的方法,包括:由安排及分派控制器接收良品率预测和良品率预测可信度,其中,所述良品率预测与制造工具和产品相关联,并且所述良品率预测可信度与所述良品率预测相关联;基于所述良品率预测和所述良品率预测可信度在路由算法中调整所述制造工具的权重;计算成本‑利润分析,其识别在所述制造工具上制造将来产品的成本和利润;以及基于所述成本‑利润分析,决定是否在所述制造工具上处理将来产品。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |