发明名称 |
环境检测装置 |
摘要 |
本发明公开了一种环境检测装置,用于检测环境中的气体浓度和温湿度,包括衬底,衬底上集成有多个发电模块及与发电模块电连接的气敏传感检测模块和控制模块;发电模块包括沉积于衬底上的下电极、第一压电薄膜和上电极;气敏传感检测模块包括沉积于衬底上的第二压电薄膜和沉积于第二压电薄膜上的输入电极、气敏薄膜和输出电极,气敏薄膜设置于输入电极与输出电极之间;气敏传感检测模块与控制模块电连接,用于将所测气体浓度信号和环境温湿度信号传输至控制模块;控制模块内设置有判断模块,判断所测气体浓度或者环境温湿度是否超过设定值。本发明可对周围环境情况进行监控,尺寸较小、安装方便、成本低,实现对周围环境比较复杂情况下的检测。 |
申请公布号 |
CN104568002B |
申请公布日期 |
2017.05.03 |
申请号 |
CN201410830150.5 |
申请日期 |
2014.12.26 |
申请人 |
昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
发明人 |
王锋;陈小华;李杨;施露 |
分类号 |
G01D21/02(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01D21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 |
代理人 |
彭秀丽 |
主权项 |
一种环境检测装置,用于检测环境中的气体浓度和温湿度,其特征在于,所述装置包括衬底,所述衬底上集成有多个发电模块及与所述发电模块电连接的气敏传感检测模块和控制模块;所述发电模块包括沉积于所述衬底上的下电极、沉积于所述下电极上的第一压电薄膜和沉积于第一压电薄膜上的上电极;所述气敏传感检测模块包括沉积于所述衬底上的第二压电薄膜和沉积于所述第二压电薄膜上的输入电极、气敏薄膜和输出电极,所述气敏薄膜设置于所述输入电极与所述输出电极之间;所述气敏传感检测模块与所述控制模块电连接,用于将所测气体浓度信号和环境温湿度信号传输至所述控制模块;所述控制模块内设置有判断模块,用于判断所测气体浓度或者环境温湿度是否超过设定值。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号 |