| 发明名称 | 浸泡式玻璃基板蚀刻机 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。 | ||
| 申请公布号 | CN104891817B | 申请公布日期 | 2017.05.03 |
| 申请号 | CN201510314348.2 | 申请日期 | 2015.06.09 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 刘亮;尹德胜 |
| 分类号 | C03C15/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔；使用时，每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板(40)的两条相邻鼓泡管道之间。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||