微衍射

摘要

本发明提供了一种用于测量具有样品表面的样品的X射线衍射的方法和装置。X射线衍射方法在样品(10)的表面(14)上沿着照射带(16)照射射束(4)。X射线被所述样品(10)衍射并通过具有基本上垂直于所述带(16)延伸的狭缝的掩模(20)。通过二维X射线检测器检测X射线，从而测量沿着所述带(16)的不同位置的衍射X射线。

主权项

一种用于测量具有样品表面的样品的X射线衍射方法，所述方法包括：沿着照射带(16)照射X射线束(4)，所述照射带在y方向上沿着所述样品(10)的表面(14)延伸；使被所述样品沿着所述照射带衍射的X射线通过所述样品(10)和二维X射线检测器(22)之间的掩模(20)，所述掩模(20)具有基本上垂直于所述y方向延伸的狭缝(24)，使得从沿着所述照射带(16)的不同位置衍射的X射线在二维X射线检测器(22)上沿着所述y方向的不同位置处被接收，其中所述掩模(20)被设置在与所述照射带(16)相距所述照射带(16)和所述二维X射线检测器(22)之间的距离的20％和80％之间的距离的位置处；在所述二维X射线检测器上检测被所述样品(10)衍射的X射线，从而在所述二维X射线检测器上沿着所述y方向的不同位置对应于沿着所述照射带(16)的不同位置，在所述二维X射线检测器上垂直于线方向的方向z’上的不同位置对应于不同的衍射角2θ。