一种刻蚀鼓泡系统

摘要

本实用新型提供了一种刻蚀鼓泡系统，涉及刻蚀技术领域，该系统包括：设置于刻蚀槽内的鼓泡组件和用于为鼓泡组件提供气体的供气组件，鼓泡组件用于向刻蚀液内提供流动的气体以带动刻蚀液的流动；还包括抛动组件，抛动组件用于带动鼓泡组件上下或左右振动。该系统不仅利用鼓泡组件向刻蚀液中提供流动的气体以带动刻蚀液的流动，从而使得刻蚀液中各处的成分一致。另外，还在鼓泡组件上增加了抛动组件以带动鼓泡组件上下或左右振动，以利用鼓泡组件的振动和因鼓泡组件振动而使鼓泡组件提供的气流摆动来进一步提高刻蚀液的均匀性。该刻蚀鼓泡系统可适用于OLED玻璃面板的减薄刻蚀，以使得OLED面板各处厚度的均匀性更好。

主权项

一种刻蚀鼓泡系统，其特征在于，包括：设置于刻蚀槽内的鼓泡组件和用于为所述鼓泡组件提供气体的供气组件，所述鼓泡组件用于向刻蚀液内提供流动的气体以带动刻蚀液的流动；还包括抛动组件，所述抛动组件用于带动所述鼓泡组件上下或左右振动。