清洁头及清扫方法

摘要

本发明提供一种清洁头及清扫方法，该清洁头具有简单且迅速地除去头主体的空气吸引口及其周围的异物的清扫功能，能够使基板品质提高并且使制造成本降低。清洁头(100)包括：移动部(22)，其被在头主体(10)上安装的引导支承部(21)引导支承，并且相对于空气吸引口(12)的长度方向大致平行地移动；异物除去部(23)，其与该移动部(22)一起移动，通过接触而除去空气吸引口(12)及其周围的异物。

主权项

一种清洁头，其特征在于，搭载有：头主体，其在长度方向上形成有成为长孔的空气吸引口；清扫装置，其对所述头主体的空气吸引口及其周围进行清扫；所述清扫装置具备：引导支承部，其安装于所述头主体；移动部，其被所述引导支承部引导支承，并且相对于所述空气吸引口的长度方向大致平行地移动；异物除去部，其与所述移动部一起移动，通过接触而除去所述空气吸引口及其周围的异物。