一种太阳能电池扩散死层去除装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池扩散死层去除装置，包括：用于传输硅片的传输滚轮，所述传输滚轮的下方沿着硅片的传输方向依次放置有刻蚀槽、第一水槽、HF槽、第二水槽、KOH槽、第三水槽、HCL槽、第四水槽、风干槽；加工时，硅片随所述传输滚轮传输，依次经过所述刻蚀槽、所述第一水槽、所述HF槽、所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽、所述第四水槽及所述风干槽。其能够在刻蚀过程中同步去除扩散死层，操作简便，成本低。

主权项

一种太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，包括：用于传输硅片的传输滚轮(8)，所述传输滚轮(8)的下方沿着硅片的传输方向依次放置有刻蚀槽(1)、第一水槽(2)、HF槽(5)、第二水槽(4)、KOH槽(3)、第三水槽(6)、HCL槽(10)、第四水槽(11)、风干槽(7)；加工时，硅片随所述传输滚轮(8)传输，依次经过所述刻蚀槽(1)、所述第一水槽(2)、所述HF槽(5)、所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述风干槽(7)。