在原位从半导体处理模块移除和更换消耗部件的系统

摘要

本发明涉及在原位从半导体处理模块移除和更换消耗部件的系统。群集工具组件包括真空传送模块，具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一侧和第二侧，隔离阀的第一侧耦接到处理模块的第二侧。更换站耦接到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构，以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问，以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时，由更换操作器和处理模块进行更换。

主权项

一种群集工具组件，包括：真空传送模块；具有连接到所述真空传送模块的第一侧的处理模块；具有耦接到所述处理模块的第二侧的第一侧的隔离阀；和耦接到所述隔离阀的第二侧的更换站，所述更换站包括更换操作器和部件缓冲区，所述部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室；所述处理模块具有升降机构，以使安装在所述处理模块中的消耗部件能放置到升高位置，所述升高位置使所述更换操作器能访问，以使所述消耗部件能从所述处理模块移除并存储至所述部件缓冲区的隔室，启用所述更换站的所述更换操作器以将用于所述消耗部件的更换件从所述部件缓冲区安装回到所述处理模块；其中，所述升降机构被配置为通过所述更换操作器接收提供用于更换的所述消耗部件并降低所述消耗部件至安装位置；其中，在所述处理模块和所述更换站保持在真空状态下时，通过所述更换操作器和所述处理模块执行所述更换。