一种紧凑型可调节的抛光液输送臂及其工作工程

摘要

一种紧凑型可调节的抛光液输送臂，包括水平设置的传送臂、垂直连接在传送臂一端的旋转轴以及连接在旋转轴下端的动力机构；所述动力机构包括旋转气缸和连接在旋转气缸上的气缸传送轴；所述旋转轴的轴身通过轴承和轴承座与抛光机机体连接，下端通过膜片联轴器与气缸传送轴连接。所述旋转气缸的顶面设有旋转盘、一侧面设有进气口和出气口；所述旋转盘通过法兰和螺钉与气缸传送轴固定连接；所述进气口和出气口与气体流量控制装置连接。所述旋转盘的旋转角度范围是0°～180°。本发明解决了现有现有抛光液输送臂调节不便、转动位置不准确的技术问题，并解决现有抛光液输送臂占用空间大、不利于紧凑型CMP系统的研发的问题。

主权项

一种紧凑型可调节的抛光液输送臂，其特征在于：包括水平设置的传送臂、垂直连接在传送臂一端的旋转轴（5）以及连接在旋转轴（5）下端的动力机构；所述动力机构包括旋转气缸（9）和连接在旋转气缸（9）上的气缸传送轴（8）；所述旋转轴（5）的轴身通过轴承和轴承座（6）与抛光机机体连接，下端通过膜片联轴器（7）与气缸传送轴（8）连接。