电子枪、带电粒子枪及利用该电子枪、带电粒子枪的带电粒子束装置

摘要

本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。

主权项

一种电子枪，其特征在于，具有：针状的电子源，其为场发射型电子源；加速电极，其使从上述电子源发射的电子加速；控制电极，其配置在比上述加速电极靠近上述电子源侧且具有比上述加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于上述加速电极的电位对施加于上述控制电极的电位进行控制，将上述控制电极的开口直径设为d，将上述电子源与上述加速电极的距离设为L时，则d/L＜1，上述电子源与上述加速电极的距离为6mm＜L＜20mm，具备两个以上的上述控制电极，上述控制部在上述加速电极的加速电压较低的情况下，将用于提高电子源的顶端的电场的控制电压施加于上述控制电极，并在加速电压较高的情况下，将用于抑制电子源的顶端的电场的控制电压施加于上述控制电极。