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经营范围
发明名称 ELECTRON BEAM RADIATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS51132959(A) 申请公布日期 1976.11.18
申请号 JP19750057982 申请日期 1975.05.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UEDA KAZUHIRO
分类号 H01J37/28;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/315;H01L21/027 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
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