| 发明名称 | 探针卡与测试方法 | ||
| 摘要 | 一种探针卡与测试方法于此揭露。探针卡包含配置为测试单元的多个探针组。测试单元用以对晶圆上待测区域的多个晶粒进行测试，并于测试完成后向第一方向移动m单位及向第二方向移动n单位以对下一待测区域进行测试，其中m、n为正整数。 | ||
| 申请公布号 | CN106597037A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201510682725.8 | 申请日期 | 2015.10.20 |
| 申请人 | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 刘昌明 |
| 分类号 | G01R1/073(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/073(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国 |
| 主权项 | 一种探针卡，其特征在于，包含配置为一测试单元的多个探针组，该测试单元用以对一晶圆上一待测区域的多个晶粒进行测试，并于测试完成后向一第一方向移动m单位及向一第二方向移动n单位以对下一待测区域进行测试，其中m、n为正整数。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学园区力行六路10号 | ||