发明名称 |
一种自动化玻璃镀膜系统 |
摘要 |
本发明公开了一种自动化玻璃镀膜系统,涉及玻璃镀膜生产技术领域,包括依次设置并通过玻璃输送锟道连接的装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统、后清洗系统和卸片台,分布式设置于玻璃输送锟道上的光电传感器,设置于前清洗系统与后清洗系统上的清洗泵电机,设置于风干室上的吹风电机,设置于进口系统和镀膜工艺室上的真空泵,分布式设置于镀膜工艺室中的气压传感器和温度传感器,设置于进口系统和出口系统的入口与出口处的狭缝阀,设置于镀膜工艺室内的溅射阴极电源控制器。本发明结构简单,设计合理,实现镀膜过程的自动化控制,不需要人工干预,有效的提高了生产效率,镀膜效果好。 |
申请公布号 |
CN106591794A |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201611083613.1 |
申请日期 |
2016.11.30 |
申请人 |
合肥亿福自动化科技有限公司 |
发明人 |
汪根生;任小体;游锦山 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种自动化玻璃镀膜系统,其特征在于,包括依次设置的装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统、后清洗系统和卸片台,所述装片台、前清洗系统、风干室、进口系统、镀膜工艺室、出口系统和卸片台之间通过玻璃输送锟道连接,分布式设置于玻璃输送锟道上的红外传感器,分布式设置于镀膜工艺室中的气压传感器和温度传感器,设置于进口系统和镀膜工艺室上的真空泵,设置于进口系统和出口系统的入口与出口处的狭缝阀,设置于镀膜工艺室内的溅射阴极电源控制器,设置于镀膜工艺室内的冷却水系统,分布式设置于冷却水系统中的温度传感器,驱动冷却水系统的冷却水系统电机,设置于前清洗系统与后清洗系统上的清洗泵电机,与狭缝阀、冷却水系统电机、清洗泵电机、真空泵和玻璃输送锟道分别连接的电机伺服控制器,还包括PLC控制器和给系统中各用电单元供电的供电电源,所述PLC控制器的输入端与红外传感器、温度传感器、工艺气体流量计、气压传感器、光电传感器和供电电源电联接,所述PLC控制器的输出端与电机伺服控制器、工艺气体释放电磁阀、溅射阴极电源控制器电联接。 |
地址 |
230000 安徽省合肥市庐阳区天水路11号 |