一种基体表面CrN涂层的制备方法

摘要

本发明公开一种基体表面CrN涂层的制备方法。该方法在利用多弧离子镀技术沉积CrN涂层过程中，每沉积一定厚度的CrN涂层时，采用氩气等离子体刻蚀技术对其进行刻蚀处理，此过程交替循环进行得到多界面的CrN涂层。与现有技术相比，利用该方法制得的涂层具有较高的硬度，较高的耐腐蚀性与耐磨损性，可应用于化工生产、资源开发以及海洋工程等领域，提高零部件及装备在腐蚀性工况下的运行稳定性及服役寿命。

主权项

一种基体表面CrN涂层的制备方法，采用多弧离子镀技术，将清洗处理后的基体放入多弧离子镀设备的真空室，对基体施加负偏压，选用Cr靶，充入氩气与氮气，然后进行步骤1：开启Cr靶电源，保持氮气充入，在基体表面沉积CrN涂层；其特征是：在步骤1中，待CrN涂层沉积一定时间后，进行步骤2：切断Cr靶电源，切断氮气充入，保持氩气充入，利用氩气等离子体刻蚀CrN涂层表面一定时间；然后，重复步骤1，直到CrN涂层厚度达到所需要求。