生产三氯甲硅烷的方法

摘要

本发明涉及一种生产三氯甲硅烷的方法。该方法包括在氢气存在的情况下，使金属硅颗粒分散在含有四氯化硅的液态硅烷类化合物中的混合物与氯化氢反应生产三氯甲硅烷的步骤。

主权项

一种用于生产三氯甲硅烷的设备，包括：供应硅烷类化合物的装置，该硅烷类化合物中含有液态四氯化硅；用于可选择地供应氯化氢的装置；用于混合从各自装置供应的硅烷类化合物与可选择地供应的氯化氢以制备液态混合物的单元；用于将金属硅颗粒供应至液态混合物并将金属硅颗粒分散在液态混合物中的装置；装配有加热装置的管式反应器，向该管式反应器中供应金属硅颗粒在液态混合物中的分散体；用于将氢气供应至管式反应器的装置；用于从管式反应器排出的产物中收集三氯甲硅烷的装置。