| 发明名称 | 投射光刻的照明光学单元的分面反射镜 | ||
| 摘要 | 一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(11)，包含多个使用分面(12)，其每个反射照明光部分光束。分面反射镜(11)具有至少一个变化子单元(16<sub>1</sub>、16<sub>2</sub>、16<sub>3</sub>)，其具有在分面承载件上共同布置的多个变化分面(12；12<sub>1</sub>、12<sub>1′</sub>)，所述变化分面能够替代地位于精确的一个使用分面(12)的使用位置处。这导致分面反射镜能够用以在操作上可靠且稳定地设定不同的照明几何形状或照明设定。 | ||
| 申请公布号 | CN106605175A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201580045812.0 | 申请日期 | 2015.08.19 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | M.德冈瑟;M.帕特拉 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军;王蕊瑞 |
| 主权项 | 一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(11；14；34)，‑包含多个使用分面(12)，其每个反射照明光部分光束(9<sub>i</sub>)；以及‑包含至少一个变化子单元(16；20；28)，其具有共同布置于分面承载件(22)上的多个变化分面(12，12′；12<sub>i</sub>，12<sub>i′</sub>；13)，所述变化分面能够替代地位于所述使用分面(12；12，13)中精确的一个使用分面的使用位置处。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||