一种新型的显影单元

摘要

本发明提供一种新型的显影单元，包括显影段和水洗段，显影段含有显影室，水箱、显影液储液箱、泵及显影喷淋装置均位于显影室中，无论是处于RGB三色制程中的蓝色制程还是保护层制程，彩色滤光片玻璃基板均经由搬入输送机进入显影室并通过水洗段的清洗室，最终经过搬出输送机传出，当处于RGB三色制程中的蓝色制程时，水箱关闭，显影液储液箱开启，显影液通过泵提供动力，对彩色滤光片玻璃基板上的蓝色光阻进行显影处理，当处于保护层制程时，显影液储液箱关闭，水箱开启，水通过泵提供动力，对显影室内的残留显影液进行清洗。上述装置结构简单，成本低，减少了轮印，避免了OC光阻被显影液洗掉，节省了人力和时间。

主权项

一种新型的显影单元，其特征在于，包括显影段和水洗段，显影段含有显影室，水箱、显影液储液箱、泵及显影喷淋装置均位于显影室中，无论是处于RGB三色制程中的蓝色制程还是保护层制程，彩色滤光片玻璃基板均经由搬入输送机进入显影室并通过水洗段的清洗室，最终经过搬出输送机传出，当处于RGB三色制程中的蓝色制程时，水箱关闭，显影液储液箱开启，显影液通过泵提供动力，对彩色滤光片玻璃基板上的蓝色光阻进行显影处理，当处于保护层制程时，显影液储液箱关闭，水箱开启，水通过泵提供动力，对显影室内的残留显影液进行清洗。