用于深孔电镀的电镀制具及电镀方法

摘要

本发明涉及电镀工具技术领域，具体讲的是一种用于深孔电镀的电镀制具，用于深孔电镀的电镀制具，包括第一支架(1)和第二支架(2)，第一转轮(4)、第二转第一转轮(4)上设有第一销轴(7)，第二转轮(5)上设有第二销轴(8)，第一销轴(7)与第二销轴(8)之间设有连接杆(6)，连接杆(6)上固定连接有挂具(9)。采用这种结构后，提供一种使电镀溶液容易进入硅片样品上的深孔底部，从而可以获得深宽比较大的金属立柱的用于深孔电镀的电镀制具。

主权项

用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，包括分别固定在电镀溶液槽(3)的两侧第一支架(1)和第二支架(2)，第一支架(1)上转动连接有第一转轮(4)以及用以驱动第一转轮(4)转动的第一驱动装置，第二支架(2)上转动连接有第二转轮(5)以及用以驱动第二转轮(5)转动的第二驱动装置，第一转轮(4)上设有第一销轴(7)，第一销轴(7)偏离第一转轮(4)的中心设置，第二转轮(5)上设有第二销轴(8)，第二销轴(8)偏离第二转轮(8)的中心设置，第一销轴(7)与第二销轴(8)之间设有连接杆(6)，连接杆(6)的两端分别与第一销轴(7)和第二销轴(8)连接，连接杆(6)上固定连接有挂具(9)，挂具(9)的底端设有用以固定样品(10)的样品固定板(11)，样品固定板(11)位于电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过，所述第一转轮(4)与第二转轮(5)的转动轴线为同一轴线，并且第一转轮(4)与第二转轮(5)的转动轴线为水平方向并平行于样品(10)表面；所述用于深孔电镀的电镀制具还包括液泵(12)、水用电磁阀(13)和喷液组件(14)，所述液泵(12)的进口通过管道与电镀溶液槽(3)的内侧连通，液泵(12)的出口通过管道与喷液组件(14)连通，水用电磁阀(13)设在液泵(12)与喷液组件(14)之间，喷液组件(14)固定在电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过且位于样品(10)前方，喷液组件(14)上设有多个喷液孔(15)，多个所述喷液孔(15)朝向样品(10)表面，电镀溶液被吸入液泵(12)并从喷液孔(15)喷出喷向样品(10)表面。