| 发明名称 | MEMS型光滤波器 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种MEMS型光滤波器，其包括：光栅、内部设有MEMS芯片的MEMS外壳、与该MEMS连接的底板、MEMS型光滤波器的外盒、以及连接所述底板和外盒的缓冲垫片，其中，所述光栅和MEMS外壳固定连接。本实用新型通过有针对性的缓冲结构设计和更优化的MEMS芯片布局，显著降低了MEMS型光滤波器在在线振动冲击试验中的频率漂移，提高了器件的机械可靠性，拓展了该类型光滤波器的应用场景。 | ||
| 申请公布号 | CN206133112U | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201621175172.3 | 申请日期 | 2016.10.25 |
| 申请人 | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 | 发明人 | 夏源;林垂真;夏小斌;徐炜;杨代荣;谢红 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人 | 陈琳 |
| 主权项 | 一种MEMS型光滤波器，其特征在于，其包括：光栅、内部设有MEMS芯片的MEMS外壳、与该MEMS连接的底板、MEMS型光滤波器的外盒、以及连接所述底板和外盒的缓冲垫片，其中，所述光栅和MEMS外壳固定连接。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区翠景路35号 | ||