发明名称 |
一种双辉渗金属源极辅助阴极筒 |
摘要 |
本实用新型公开了一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,属于离子渗金属辅助阴极技术领域。一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,包括呈筒身和基座,所述筒身设置在基座上端;所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔,所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧;所述基座为中空结构,且基座和筒身之间隔有底盘;所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽,且围绕该凹槽还设有若干的通孔。本实用新型提供能够防止源极熔融而造成的装置报废,保证渗金属均匀和实现多元、多物理形态的双辉渗金属。 |
申请公布号 |
CN206127413U |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201621039475.2 |
申请日期 |
2016.09.06 |
申请人 |
桂林电子科技大学 |
发明人 |
徐晋勇;王健;高波;罗奕;张应红;孙宁;高鹏;唐亮;王岩 |
分类号 |
C23C14/48(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 |
代理人 |
但玉梅 |
主权项 |
一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,包括呈筒身和基座,所述筒身设置在基座上端;其特征在于:所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔,所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧;所述基座为中空结构,且基座和筒身之间隔有底盘;所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽,且围绕该凹槽还设有若干的通孔。 |
地址 |
541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号 |