四甲基氢氧化铵溶液的分解装置

摘要

本实用新型揭露一种四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的分解装置，主要通过混合四甲基氢氧化铵溶液、氧化剂以及触媒，达到分解四甲基氢氧化铵的目的。氧化剂包括一次氯酸根或一次氯酸盐，四甲基氢氧化铵溶液会与氧化剂反应，而触媒则会吸附反应过程中产生的氧原子。触媒吸附的氧原子会进一步参与反应，藉此将四甲基氢氧化铵分解成氮气及醇类。通过本实用新型所提出的四甲基氢氧化铵溶液的分解装置，可使四甲基氢氧化铵溶液中的四甲基氢氧化铵去除率大于99%。

主权项

一种四甲基氢氧化铵溶液的分解装置，其特征在于，所述四甲基氢氧化铵溶液的分解装置包括：一混合槽，用以混合一四甲基氢氧化铵溶液及一氧化剂，以产生一N(CH₃)₃ClOH，其中所述四甲基氢氧化铵溶液包括一四甲基氢氧化铵及一水分子，而所述氧化剂包括一次氯酸根或一次氯酸盐；至少一传输管，连接所述混合槽；及一触媒槽，用以容置一触媒，并连接所述传输管，其中所述触媒槽通过所述传输管由所述混合槽接收所述N(CH₃)₃ClOH及所述水分子，使得所述水分子与所述N(CH₃)₃ClOH反应产生一NH(CH₃)₃OH，且所述触媒吸附所述水分子与所述N(CH₃)₃ClOH反应产生的一氧原子，并使所述NH(CH₃)₃OH、所述触媒所吸附的所述氧原子以及所述水分子反应产生一氮气以及一醇类。