发明名称 |
电镀装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种电镀装置,包括:长条形的阴极飞靶;多个震动马达;所述多个震动马达中的一个设置在所述阴极飞靶的中间位置;其余所述震动马达均匀分布在所述阴极飞靶上,以向所述阴极飞靶上悬挂的电镀板件传递均匀的震动能量。本实用新型能够实现阴极飞靶的均匀震动,提升电镀装置的贯穿通孔能力、并能在电镀板件上形成均匀的镀层。 |
申请公布号 |
CN206127464U |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201621188824.7 |
申请日期 |
2016.10.28 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;重庆方正高密电子有限公司 |
发明人 |
黄云钟;李春明 |
分类号 |
C25D17/00(2006.01)I |
主分类号 |
C25D17/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
宋扬;刘芳 |
主权项 |
一种电镀装置,其特征在于,包括:长条形的阴极飞靶;多个震动马达;所述多个震动马达中的一个设置在所述阴极飞靶的中间位置;其余所述震动马达均匀分布在所述阴极飞靶上,以向所述阴极飞靶上悬挂的电镀板件传递均匀的震动能量。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦9层 |