发明名称 电镀装置
摘要 本实用新型公开了一种电镀装置,包括:长条形的阴极飞靶;多个震动马达;所述多个震动马达中的一个设置在所述阴极飞靶的中间位置;其余所述震动马达均匀分布在所述阴极飞靶上,以向所述阴极飞靶上悬挂的电镀板件传递均匀的震动能量。本实用新型能够实现阴极飞靶的均匀震动,提升电镀装置的贯穿通孔能力、并能在电镀板件上形成均匀的镀层。
申请公布号 CN206127464U 申请公布日期 2017.04.26
申请号 CN201621188824.7 申请日期 2016.10.28
申请人 北大方正集团有限公司;重庆方正高密电子有限公司 发明人 黄云钟;李春明
分类号 C25D17/00(2006.01)I 主分类号 C25D17/00(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 宋扬;刘芳
主权项 一种电镀装置,其特征在于,包括:长条形的阴极飞靶;多个震动马达;所述多个震动马达中的一个设置在所述阴极飞靶的中间位置;其余所述震动马达均匀分布在所述阴极飞靶上,以向所述阴极飞靶上悬挂的电镀板件传递均匀的震动能量。
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