卧式石墨化炉

摘要

本申请公开了一种卧式石墨化炉，包括内炉体、加热机构和外炉体，所述内炉体由内至外包括反应室、坩埚和保温层，所述内炉体和所述加热机构设置在所述外炉体内部，所述外炉体包括炉体外壳和炉盖，所述炉盖设置在所述炉体外壳两端，所述坩埚设置在所述保温层的内壁中，所述保温层包括硬质碳毡保温层和软质碳毡保温层,所述硬质碳毡保温层的底盘支撑着所述坩埚，所述内炉体两端设有保温门。本实用新型能有效防止坩埚下沉，设备绝缘性好，高温稳定性强。

主权项

卧式石墨化炉，包括内炉体、加热机构和外炉体，所述内炉体由内至外包括反应室(1)、坩埚和保温层(2)，所述内炉体和所述加热机构设置在所述外炉体内部，所述外炉体包括炉体外壳(3)和炉盖(301)，所述炉盖(301)设置在所述炉体外壳(3)两端，其特征在于，所述坩埚设置在所述保温层(2)的内壁中，所述保温层(2)包括硬质碳毡保温层(201),所述硬质碳毡保温层(201)的底盘支撑着所述坩埚，所述内炉体两端设有保温门(4)。