一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜

摘要

一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜，阀头包括活动件以及活动件支撑装置，该活动件具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活动件背向所述固定件的一侧设有第一容纳槽；活动件支撑装置具有适于嵌入所述第一容纳槽的球面，所述球面与所述第一容纳槽的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件的方向上支撑所述活动件相对所述固定件浮动。本发明提供的阀头，加工难度低，调节灵敏度高，能够消除两个平面各个方向上的平行度误差，从而使两个密封平面充分贴合，具有该阀头的平行误差自动补偿装置，及具有该补偿装置的电镜能够保证密封的重复度。

主权项

一种阀头，其特征在于，包括：活动件(2)，具有与固定件(1)的第一密封平面(11)配合的第二密封平面(21)，所述活动件(2)背向所述固定件(1)的一侧设有第一容纳槽(23)；活动件支撑装置(3)，具有适于嵌入所述第一容纳槽(23)的球面，所述球面与所述第一容纳槽(23)的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽(23)的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件(1)的方向上支撑所述活动件(2)相对所述固定件(1)浮动。