一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管

摘要

本发明公开了一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材，靶材之间通过冷却背管冷却，冷却背管的设有正向进液用的内管，内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。本发明结构设计简单合理，有效保证水的流动性，冷却效果大大优于现有一端进，一端出的冷却管道；保证旋转时不漏水，稳定性更好；保证冷却水能够充分充满冷却管，避免ITO靶材底部的冷却背管水出现空隙，有效防止裂靶现象发生。

主权项

一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管， 包括上下两个ITO靶材，所述靶材之间通过冷却背管冷却，其特征在于：所述冷却背管的中央设有正向进液用的内管，所述内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。