利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法

摘要

本发明提出了一种利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，对探针卡通道进行合理分组、分配工作通道，然后分时发送指令。相对于所有通道并行传输，本发明在不调整探针卡通道间隔的情况下对通道合理分组，实现了通道间隔增大，能大幅度减少串扰的发生，而且不需要重新设计探针卡，可大大降低成本。相对于串行传输，本发明通过分时发送指令，充分利用指令传输的间隔的静默期传输指令，大大缩短了传输时间，而且最后一组发送的指令和第一组返回的指令间不会重叠，降低了误码率。

主权项

一种利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）对探针卡通道分组，将探针卡通道分为m组，每组探针卡通道包括n个工作通道，每个工作通道传输一个指令，其中m为≥2的正整数，n为≥2的正整数；每组探针卡通道内的相邻工作通道之间为邻行隔列的排列方式，所述邻行隔列是指两个相邻信号通道为邻行且间隔一列；相邻的两组探针卡通道之间，后一组探针卡通道的工作通道比前一组探针卡通道的工作通道后移一列；（2）分时发送指令，对第1组探针卡通道内的n个工作通道发送指令，第1组探针卡通道的指令发送完毕后，间隔一段时间t1后，再对第2组探针卡通道的n个工作通道发送指令，第2组探针卡通道的指令发送完毕后，间隔一段时间t1后，再对第3组探针卡通道的n个工作通道发送指令，以此类推，直至对第m组探针卡通道的n个工作通道发送指令完毕；所述每组探针卡通道内的n个工作通道同时接收、传输和返回指令；（3）将探针卡测得芯片的信息保存记录下来并作后续处理。