| 发明名称 | 扩散源温度的调控方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种扩散源温度的调控方法及装置，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。本发明在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，当前剩余体积的减少，会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN106601871A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201611141731.3 | 申请日期 | 2016.12.12 |
| 申请人 | 徐州鑫宇光伏科技有限公司;协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 曹洋洋;张伟 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/228(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 唐清凯 |
| 主权项 | 一种扩散源温度的调控方法，其特征在于，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。 | ||
| 地址 | 221000 江苏省徐州市沛县经济开发区沛公路和汉润路东南隅 | ||