发明名称 |
一种闪存单元结构及分立栅快闪存储器 |
摘要 |
本发明涉及存储器设计领域,尤其涉及一种闪存单元结构及分立栅快闪存储器,该闪存单元结构包括半导体衬底、依次设置在所述半导体衬底之上的浮栅、隔离层和控制栅,其中,所述控制栅之上设置有掩膜层,所述掩膜层包括依次设置于所述控制栅之上的底层氮化层、中间氧化层以及顶层氮化层。本发明的闪存单元结构通过在传统的掩膜层中引入中间氧化层形成“NON”结构,并且调整“NON”结构中各膜层的厚度比例,使得新形成的掩膜层可明显降低作用于控制栅上的应力,确保器件在读写时的电流均匀性。由本发明的闪存单元结构组成的分立栅快闪存储器,因消除了应力影响,其读写电流均匀平稳,不会对器件造成损坏。 |
申请公布号 |
CN106601749A |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201611162168.8 |
申请日期 |
2016.12.15 |
申请人 |
武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
李赟;周俊 |
分类号 |
H01L27/11517(2017.01)I;H01L27/11551(2017.01)I |
主分类号 |
H01L27/11517(2017.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
俞涤炯 |
主权项 |
一种闪存单元结构,包括半导体衬底、依次设置在所述半导体衬底之上的浮栅、隔离层和控制栅,其特征在于,所述控制栅之上设置有掩膜层,所述掩膜层包括依次设置于所述控制栅之上的底层氮化层、中间氧化层以及顶层氮化层。 |
地址 |
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 |