斜承载面碳纤维载板

摘要

本实用新型提供了一种斜承载面碳纤维载板，是对板式PECVD工艺中的硅片载板的结构改进，在载板上开设有用于装载硅片的槽，槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，承载面是向槽内倾斜的斜托面，斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上。本实用新型将载板与硅片的接触面从现有的90°平台阶面改进成斜托面，进而将硅片和载板接触由面接触改成线接触，极大减少接触面，避免镀膜生产过程中的影响，避免膜层不利影响，提高了电池片的镀膜效率。

主权项

一种斜承载面碳纤维载板，所述载板上开设有用于装载硅片的槽，在槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，其特征在于：所述承载面是向槽内倾斜的斜托面，所述斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上，所述斜托面的倾角是10‑50°。