发明名称 |
基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统 |
摘要 |
本实用新型属于光学领域,涉及一种高能激光系统大动态远场焦斑测量装置,具体涉及一种基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统。该系统包括聚焦透镜和DMD数字微镜,经过聚焦透镜的光束被DMD数字微镜反射后产生主瓣光路和旁瓣光路;沿主瓣光路的光线方向依次设置有主瓣成像镜头、主瓣衰减片和主瓣CCD探测器;沿旁瓣光路的光线方向依次设置有旁瓣成像镜头、旁瓣衰减片和旁瓣CCD探测器。本实用新型采用DMD器件实现远场焦斑主瓣和旁瓣的分离,使测量系统能够针对不同的焦斑情况作自适应调整。避免了遮挡小球的使用,可以极大提高测量系统的稳定性和灵活性。可以有效减少调试过程,降低调试难度,节省调试时间,实现远场焦斑的自动监测与调整。 |
申请公布号 |
CN206132357U |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201621084208.7 |
申请日期 |
2016.09.27 |
申请人 |
中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人 |
袁索超;李红光;达争尚 |
分类号 |
G01M11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01M11/02(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
陈广民 |
主权项 |
一种基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统,其特征在于:包括聚焦透镜和DMD数字微镜,经过聚焦透镜的光束被DMD数字微镜反射后产生主瓣光路和旁瓣光路;沿主瓣光路的光线方向依次设置有主瓣成像镜头、主瓣衰减片和主瓣CCD探测器;沿旁瓣光路的光线方向依次设置有旁瓣成像镜头、旁瓣衰减片和旁瓣CCD探测器;所述DMD数字微镜、主瓣CCD探测器和旁瓣CCD探测器均与计算机相连。 |
地址 |
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 |