阵列测试装置和方法

摘要

本发明涉及一种阵列测试装置和阵列测试方法，该装置包括：探针矩阵，多根探针均匀连续排列于探针矩阵上，具有地址矩阵信息且由电磁开关独立控制；地址矩阵系统，存储探针的地址矩阵信息；电压控制系统，根据探针的地址矩阵信息控制探针；运算组件，用于设定探针的选定规则。该方法包括：S1.划分多个探针子矩阵；S2.选定一个探针子矩阵，将每根探针处于扎针状态；S3.接收所有处于扎针状态中导通的探针的地址矩阵信息，选定一根或多根导通的探针；S4.解除非选定的探针的扎针状态；S5.重复上述步骤S2～S4，直至选定所有探针；S6.将电压通过所有选定的探针导入，进行测试。本发明的阵列测试装置和方法，测试效率高，适用性强。

主权项

一种阵列测试装置，其特征在于，包括：探针矩阵，所述探针矩阵上设置有多个探针，所述多个探针均匀连续排列于所述探针矩阵上，所述探针具有地址矩阵信息并由电磁开关独立控制；地址矩阵系统，用于存储所述探针的地址矩阵信息；电压控制系统，用于根据所述探针的地址矩阵信息控制所述探针；运算组件，用于设定探针的选定规则。