| 发明名称 | 在线可调式磁棒 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于可旋转地承载溅射靶管(200)且用于约束所述溅射靶管内的磁棒的终端模块(100)。终端模块(100)包括用于接收磁棒接头(150)的插孔，其中所述插孔包括信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分设置用于从所述磁棒接头(150)接收信号连接器的第二部分(164)并允许在终端模块(100)和磁棒(220)之间形成信号连接器。终端模块适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在终端模块和磁棒之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。本发明还提供了一种对应的磁棒，以及一种用于调节柱状溅射装置中的磁棒的磁性构造的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104137221B | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201380009051.4 | 申请日期 | 2013.02.13 |
| 申请人 | 梭莱先进镀膜工业有限公司 | 发明人 | W·德博斯谢尔;I·范德皮特;G·国彬 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 柳爱国 |
| 主权项 | 一种用于可旋转地承载溅射靶管(200)且用于约束所述溅射靶管内的磁棒的终端模块(100)，所述终端模块包括用于接收磁棒接头(150)的插孔，其中所述插孔包括信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分设置用于从所述磁棒接头(150)接收信号连接器的第二部分(164)并允许在终端模块(100)和磁棒(220)之间形成信号连接，所述终端模块包括用于引导冷却流体的冷却液体通道，所述信号连接器的第一部分(162)设置在所述冷却液体通道中，所述终端模块(100)适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在终端模块(100)和磁棒(220)之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。 | ||
| 地址 | 比利时丹泽 | ||