| 发明名称 | 靶材制备方法和吸气剂薄膜形成方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材制备方法和吸气剂薄膜形成方法，所述靶材制备方法包括：在惰性气体氛围下，按照靶材各组分质量分数比例进行配料，形成混料；在真空或惰性气体氛围下，对混料进行熔炼并冷却，形成合金锭；在惰性气体氛围下，对合金锭进行粉碎，获得合金粉末；将合金粉末装入包套后进行热等静压处理，获得带包套的靶坯。对所述靶坯利用物理气相沉积法制备薄膜，配合光刻‑剥离工艺或硬掩膜版技术实现薄膜的图形化，上述方法能够制备形成高均匀性、高致密度的合金靶材和薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN106591790A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201611232165.7 | 申请日期 | 2016.12.28 |
| 申请人 | 杭州大立微电子有限公司 | 发明人 | 庄玉召;王景道;钱良山;姜利军 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C22C16/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人 | 孙佳胤 |
| 主权项 | 一种靶材制备方法，其特征在于，包括：在惰性气体氛围下，按照靶材各组分质量分数比例进行配料，形成混料；在真空或惰性气体氛围下，对混料进行熔炼并冷却，形成合金锭；在惰性气体氛围下，对合金锭进行粉碎，获得合金粉末；将合金粉末装入包套后进行热等静压处理，获得带包套的靶坯。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路639号二区2402室 | ||