一种板式PECVD在线自动调整SPC的装置

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD在线自动调整SPC的装置，其包括设置在PECVD生产线的下料区至上料区回路上的支架、设置在所述支架上用于测试氮化硅薄膜膜厚和折射率的测试机构，以及控制终端，所述测试机构的信息输出端连接到控制终端的信息输入端，所述控制终端的控制信息输出端连接到PECVD生产线机台的驱动机构的控制信息输入端。本实用新型能够在线实时监控并修正SPC，节省人力，节约生产成本，减少SPC的波动，提升效率的稳定性。

主权项

一种板式PECVD在线自动调整SPC的装置，其特征在于：其包括设置在PECVD生产线的下料区至上料区回路上的支架、设置在所述支架上用于测试氮化硅薄膜膜厚和折射率的测试机构，以及控制终端，所述测试机构的信息输出端连接到控制终端的信息输入端，所述控制终端的控制信息输出端连接到PECVD生产线机台的驱动机构的控制信息输入端。