一种可控接触压力抛光装置

摘要

一种可控接触压力抛光装置，它涉及一种抛光装置，具体涉及一种可控接触压力抛光装置。本发明为了解决现有可控接触压力抛光工具会引入一定的中高频误差，为进一步提升面形精度带来较大难度的问题。本发明的抛光主轴竖直设置在抛光工具基座的一端，且抛光主轴的轴线与抛光工具基座的上表面垂直，抛光轮安装在抛光主轴的下端，抛光主轴通过抛光主轴连接件与线性滑台溜板的前部连接，线性滑台溜板通过线性滑台基座安装在抛光工具基座上，所述音圈电机的音圈电机线圈通过音圈电机线圈连接件与线性滑台溜板的后部连接，所述音圈电机的音圈电机磁钢通过音圈电机磁钢连接件安装在抛光工具基座的后部。本发明用于精密光学加工领域。

主权项

一种可控接触压力抛光装置，它包括抛光工具基座(1)、抛光主轴(2)、抛光轮(3)、抛光主轴连接件(4)、线性滑台溜板(5)、线性滑台基座(6)、音圈电机线圈连接件(7)、音圈电机和音圈电机磁钢连接件(10)，抛光工具基座(1)水平设置，抛光主轴(2)竖直设置在抛光工具基座(1)的一端，且抛光主轴(2)的轴线与抛光工具基座(1)的上表面垂直，抛光轮(3)安装在抛光主轴(2)的下端，抛光主轴(2)通过抛光主轴连接件(4)与线性滑台溜板(5)的前部连接，线性滑台溜板(5)通过线性滑台基座(6)安装在抛光工具基座(1)上，所述音圈电机的音圈电机线圈(8)通过音圈电机线圈连接件(7)与线性滑台溜板(5)的后部连接，所述音圈电机的音圈电机磁钢(9)通过音圈电机磁钢连接件(10)安装在抛光工具基座(1)的后部，其特征在于：所述一种可控接触压力抛光装置还包括光栅(11)和读数头(12)，光栅(11)安装在线性滑台溜板(5)上，读数头(12)安装在抛光工具基座(1)的前部，读数头(12)用于读取光栅(11)的上的位置信号。