| 发明名称 | 压电器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种压电器件，包括：基板；层积在基板上方的第一电极；层积在第一电极上方的第一压电膜；层积在第一压电膜上方的金属氧化物膜；层积在金属氧化物膜上方的金属膜；层积在金属膜上方的第二压电膜；以及层积在第二压电膜上方的第二电极。 | ||
| 申请公布号 | CN103187520B | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201210460295.1 | 申请日期 | 2012.09.28 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 藤井隆满;菱沼庆一 |
| 分类号 | H01L41/083(2006.01)I;H01L41/277(2013.01)I | 主分类号 | H01L41/083(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈松涛;韩宏 |
| 主权项 | 一种压电器件，包括：基板；层积在所述基板上方的第一电极；层积在所述第一电极上方的第一压电膜；层积在所述第一压电膜上方的金属氧化物膜；层积在所述金属氧化物膜上方的金属膜；层积在所述金属膜上方的第二压电膜；以及层积在所述第二压电膜上方的第二电极，在由所述第一压电膜和所述第二压电膜之间的所述金属氧化物膜和所述金属膜构成的中间层中的应力和厚度的乘积小于100N/m<sup>2</sup>，所述中间层的厚度不小于50nm并且小于250nm。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||