一种双活性电极氮氧化物传感器芯片及其制备方法

摘要

本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种双活性电极氮氧化物传感器芯片及其制备方法。本发明中的氮氧化物传感器芯片结构简单。在结构上省去了三个电化学氧泵、两个腔室、一个参比空气通道和三个引脚，极大地简化了氮氧化物传感器芯片的结构，制备过程简单，省去了冲切、叠合和压制的制备过程，使制备过程得到了较大的简化；制备成本低，节省了冲切、叠合和压制的制备过程的费用；节省了制备氧化锆基片过程中花费的大量费用；测量效果好，且能够测量氮氧化物的含量，在氧化铝基片上同时集成了双活性电极氮氧化物浓差电池能够精确测量汽车尾气中的氮氧化物含量；具有极大的经济价值和市场前景。

主权项

一种双活性电极氮氧化物传感器芯片，其特征在于，所述芯片包括加热电阻、双活性电极氮氧化物浓差电池、氧化铝基片；所述加热电阻、双活性电极氮氧化物浓差电池设置在所述氧化铝基片的表面；所述加热电阻对称分布在氧化铝基片的边缘处。