真空磁控溅射镀膜线真空保压箱快速换气装置

摘要

本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱快速换气装置，包括保压箱本体，所述保压箱本体的前段为过度室，在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管，所述空气管上设置有空气自动流量调节阀，进气筒的一端封闭，另一端开口，所述空气管与进气筒的开口端相连，所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔，所述进气筒内周向分布有若干过滤筒，所述过滤筒由过滤棉围成，所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸；所述保压箱本体的侧面设置有抽气管，所述抽气管与抽气泵相连。能实现快速换气的同时提高玻璃镀膜的质量。

主权项

一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱快速换气装置，包括保压箱本体(1)，所述保压箱本体(1)的前段为过度室，其特征在于：在所述保压箱本体(1)的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管(2)，所述空气管(2)上设置有空气自动流量调节阀(5)，进气筒(3)的一端封闭，另一端开口，所述空气管(2)与进气筒(3)的开口端相连，所述进气筒(3)的筒壁上分布有若干进气孔(3a)，所述进气筒(3)内周向分布有若干过滤筒(4)，所述过滤筒(4)由过滤棉围成，所述过滤筒(4)沿进气筒(3)的轴线延伸；所述保压箱本体(1)的侧面设置有抽气管(6)，所述抽气管(6)与抽气泵(7)相连。