基板处理装置和基板装置的运用方法

摘要

基板处理装置包括：装载部，向该装载部输入输送容器；检测部，其用于对输入到装载部的、盖体被拆卸后的输送容器内的基板的收纳状况进行检测；处理部，其用于对自输入到装载部的输送容器取出的基板进行处理；以及控制部。控制部用于执行第1步骤、第2步骤以及第3步骤，在该第1步骤中，在将基板自输入到装载部的输送容器向处理部交付之前对输送容器内的基板的收纳状况进行检测，在该第2步骤中，在使经处理部处理过的基板返回到原来的输送容器之后且在将盖体关闭之前，对该输送容器内的基板的收纳状况进行检测，在该第3步骤中，根据第1步骤和第2步骤来对输送容器是否异常进行判断。

主权项

一种基板处理装置，该基板处理装置用于自输送容器取出基板并对基板进行处理，该输送容器的容器主体的前表面的基板取出口能被盖体气密地封堵，该输送容器用于将多个基板以呈搁板状收纳的方式输送，其特征在于，该基板处理装置包括：装载部，向该装载部输入所述输送容器；检测部，其用于对输入到所述装载部的、盖体被拆卸后的输送容器内的基板的收纳状况进行检测；处理部，其用于对自输入到所述装载部的输送容器取出的基板进行处理；以及控制部，其用于执行第1步骤、第2步骤以及第3步骤，在该第1步骤中，在将基板自输入到所述装载部的输送容器向所述处理部交付之前对输送容器内的基板的收纳状况进行检测，在该第2步骤中，在使经所述处理部处理过的基板返回到原来的输送容器之后且在将盖体关闭之前，对该输送容器内的基板的收纳状况进行检测，在该第3步骤中，根据所述第1步骤和第2步骤来对输送容器是否异常进行判断，其中，所述控制部在经所述第2步骤检测出基板的收纳状况的异常、而经第1步骤没有检测出基板的收纳状况的异常时，判断为基板处理装置内的输送系统异常。