一种Ti掺杂类金刚石薄膜涂覆不锈钢的制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种Ti掺杂类金刚石薄膜涂覆不锈钢的制备方法及应用，该制备方法包括如下步骤：首先将表面经机械镜面抛光后的AISI 316L不锈钢基体分别在酒精和蒸馏水中超声波清洗30分钟，然后进行Ar离子轰击清洗，最后进行DLC‑Ti薄膜沉积，DLC‑Ti薄膜的厚度为4μm。本发明采用离子束辅助沉积法在AISI 316L不锈钢基体上沉积DLC‑Ti膜，所得不锈钢表现出超低的摩擦系数(在0.017‑0.029之间)，磨损量也并未检测出来，所得不锈钢的自腐蚀电位(Ecorr)和点蚀电位都向正电位方向移动，表明材料的综合性能较好，使得其在整形外科及刀具等方面的应用具有很好的前景。

主权项

一种Ti掺杂类金刚石薄膜涂覆不锈钢的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：首先将表面经机械镜面抛光后的AISI 316L不锈钢基体分别在酒精和蒸馏水中超声波清洗30分钟，然后进行Ar离子轰击清洗，最后进行DLC‑Ti薄膜沉积，DLC‑Ti薄膜的厚度为4μm。