CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法

摘要

一种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法，该结构包括清洗刷、与清洗刷呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构、与清洗刷呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构、支撑惰轴结构的左摆架和支撑可伸缩式驱动轴结构的右摆架。所述清洗刷包括刷轴和套在刷轴上的刷子。刷轴右端带有与可伸缩式驱动轴结构同心的定心锥轴和方形轴，刷轴左端带有与惰轴结构同心的定心锥轴和矩形轴，定心锥轴中心设有与刷轴内腔连通的纯水入口。本发明结构紧凑简练，使清洗刷卡接布局方式得以优化，可有效提升其卡接同心度、纯水贯通接口端密封性，并具有便捷的快换性。

主权项

一种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：包括清洗刷（1）、与清洗刷（1）呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构（2）、与清洗刷（1）呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构（3）、支撑惰轴结构（2）的左摆架（4）和支撑可伸缩式驱动轴结构（3）的右摆架（5）；所述清洗刷（1）包括刷轴（6）和套在刷轴（6）上的刷子（7）；所述刷轴（6）右端带有与可伸缩式驱动轴结构（3）同心的定心锥轴（6.1）和方形轴（6.2）；刷轴（6）左端带有与惰轴结构（2）同心的定心锥轴（6.3）和矩形轴（6.4），定心锥轴（6.3）中心设有与刷轴（6）内腔连通的纯水入口（6.5），刷轴（6）四周沿轴向间隔开有纯水出口槽（6.6），并在纯水出口槽（6.6）内沿轴向间隔开有与刷轴内腔连通的纯水出口孔（6.7）。