发明名称 |
检测器设备 |
摘要 |
本发明涉及一种检测器设备,检测器设备被配备以接收光和产生电信号,检测器设备具有包括光入射侧的光传感器,且具有冷却部件。根据本发明,可以提供:冷却部件在光传感器的光入射侧与光传感器直接接触和/或与承载光传感器的衬底直接接触。 |
申请公布号 |
CN102954837B |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201210292665.5 |
申请日期 |
2012.08.16 |
申请人 |
莱卡微系统CMS有限责任公司 |
发明人 |
弗兰克·施赖伯;贝恩德·维茨戈夫斯基;霍尔格·比尔克 |
分类号 |
H01J40/02(2006.01)I;H01J40/16(2006.01)I;H01J43/02(2006.01)I;H01J43/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J40/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
黄德海;宋合成 |
主权项 |
一种检测器设备(1),所述检测器设备(1)被配备以接收待检测的光(2)和产生电信号,所述检测器设备(1)具有包括光入射侧的光传感器(6),且具有冷却部件,其中,所述冷却部件在所述光传感器(6)的光入射侧与所述光传感器直接接触和/或与承载所述光传感器(6)的衬底(7)直接接触。 |
地址 |
德国威茨勒 |