发明名称 检测器设备
摘要 本发明涉及一种检测器设备,检测器设备被配备以接收光和产生电信号,检测器设备具有包括光入射侧的光传感器,且具有冷却部件。根据本发明,可以提供:冷却部件在光传感器的光入射侧与光传感器直接接触和/或与承载光传感器的衬底直接接触。
申请公布号 CN102954837B 申请公布日期 2017.04.26
申请号 CN201210292665.5 申请日期 2012.08.16
申请人 莱卡微系统CMS有限责任公司 发明人 弗兰克·施赖伯;贝恩德·维茨戈夫斯基;霍尔格·比尔克
分类号 H01J40/02(2006.01)I;H01J40/16(2006.01)I;H01J43/02(2006.01)I;H01J43/28(2006.01)I 主分类号 H01J40/02(2006.01)I
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 黄德海;宋合成
主权项 一种检测器设备(1),所述检测器设备(1)被配备以接收待检测的光(2)和产生电信号,所述检测器设备(1)具有包括光入射侧的光传感器(6),且具有冷却部件,其中,所述冷却部件在所述光传感器(6)的光入射侧与所述光传感器直接接触和/或与承载所述光传感器(6)的衬底(7)直接接触。
地址 德国威茨勒