发明名称 |
一种无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法 |
摘要 |
一种无电沉积掺铝氧化锌薄膜的制备方法,该方法将无导电性的柔性衬底分别浸入敏化溶液和活化溶液中使无导电性的柔性衬底表面活化,然后用活化后的无导电性的柔性衬底浸入含有Zn(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>、Al(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>以及二甲胺基硼烷的生长溶液中以使得掺铝氧化锌薄膜在衬底上沉积。本发明工艺简洁,设备简单,无需高温和高压环境,适用于大规模工业生产,可广泛应用于光电领域。 |
申请公布号 |
CN104498916B |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201410682018.4 |
申请日期 |
2014.11.24 |
申请人 |
广西大学 |
发明人 |
黄瀛;沈晓明;何欢;符跃春;韦小凤;覃嘉媛 |
分类号 |
C23C18/16(2006.01)I;C23C18/28(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/16(2006.01)I |
代理机构 |
广西南宁公平知识产权代理有限公司 45104 |
代理人 |
黄永校 |
主权项 |
一种无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法,包括以下步骤:(1)将无导电性的柔性衬底置于丙酮溶液里进行超声清洗10‑20min,然后用去离子水冲洗干净,烘干,得到干净柔性衬底;其特征在于,还包括以下步骤:(2)在室温下,将干净柔性衬底浸入敏化溶液中30‑60min进行敏化处理,得到敏化柔性衬底;所述的敏化溶液由SnCl<sub>2</sub>和HCl溶液配制而成,在敏化溶液中SnCl<sub>2</sub>的浓度为20~60g/L,HCl的浓度为0.12~0.36mol/L,所述的敏化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸附敏化粒子Sn<sup>2+</sup>;(3)在室温下,将敏化柔性衬底浸入活化溶液中30‑60min进行活化处理,得到活化柔性衬底;所述的活化溶液由PdCl<sub>2</sub>和HCl溶液配制而成,在活化溶液中PdCl<sub>2</sub>的浓度为0.05~0.2g/L,HCl的浓度为0.12~0.36mol/L,所述的活化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸附活化粒子Pd<sup>0</sup>;(4)在恒温60‑90℃下,将活化柔性衬底浸入生长溶液中1.5~3h,使得掺铝氧化锌薄膜在衬底上沉积,最后用去离子水清洗,吹干,即得到掺铝氧化锌薄膜;所述的生长溶液由Zn(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>、Al(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>和二甲胺基硼烷溶液配制而成,在生长溶液中Zn(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>的浓度为0.01~0.1mol/L,Al(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>的浓度为0.0005~0.01mol/L,二甲胺基硼烷的浓度为0.01~0.03mol/L。 |
地址 |
530004 广西壮族自治区南宁市西乡塘区大学路100号 |