提供用于可自组装聚合物的图案化取向模板的方法

摘要

本发明公开一种图形外延模板，用以对准自组装嵌段聚合物，所述嵌段聚合物适于自组装为具有平行于第一轴线延伸、沿正交的第二轴线相互间隔开并且通过连续第二区域或域分开的不连续第一区域或域的平行行的二维阵列。所述图形外延模板具有基本上平行的第一和第二侧壁，所述第一和第二侧壁平行于第一轴线延伸并且限定第一轴线并且沿第二轴线相互间隔开以提供间隔区，该间隔区适于保持处于衬底上侧壁之间并且平行于侧壁的至少一行不连续第一区域或域，并且通过连续第二区域或域与其分开。所述间隔区具有图形外延成核特征，所述图形外延成核特征被布置用于将至少一个不连续第一区域或域定位在间隔区内的特定位置处。本发明还公开用于形成图形外延模板的方法及其用于器件光刻的应用。

主权项

一种衬底上的图形外延模板，用以对准衬底表面上的自组装嵌段聚合物，其中嵌段共聚物适于自组装为包括平行于笛卡尔y轴线延伸、沿正交的笛卡尔x轴线相互间隔开并且通过连续的第二区域分开的不连续的第一区域的平行的行的二维阵列，所述图形外延模板包括：基本上平行的第一和第二侧壁，所述第一和第二侧壁平行于y轴线延伸并且限定y轴线并且沿x轴线相互间隔开以提供间隔区，该间隔区适于保持处于衬底上侧壁之间并且平行于侧壁的至少一行不连续的第一区域，并且通过连续的第二区域与其分开，其中所述间隔区包括图形外延成核特征，所述图形外延成核特征被布置用于将至少一个不连续的第一区域定位在间隔区内的特定位置处；其中所述图形外延成核特征包括从第一侧壁延伸到间隔区中的扶壁。