| 发明名称 | 一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备，该分子牵引型真空动密封结构用于转子和真空腔室二者之间的动密封，所述转子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之间形成密封间隙，所述真空腔室的密封面上设有导引槽，所述导引槽的出口与排气腔连通，其中，高速旋转的所述转子将动量传递给气体分子，所述气体分子在所述导引槽内被牵引至所述排气腔中排出。本发明利用线速度达到分子热运动速度的刚体表面对气体分子的牵引作用，实现超高速旋转条件下对大直径真空室的真空动密封。利用该结构，可以实现大直径转子超高速旋转时，装置两端的气压从10<sup>5</sup>Pa到10<sup>‑7</sup>Pa的跨越。 | ||
| 申请公布号 | CN106594288A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201611226615.1 | 申请日期 | 2016.12.27 |
| 申请人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明人 | 吴宜灿;王文;刘超;季翔;宋勇 |
| 分类号 | F16J15/40(2006.01)I;F16J15/43(2006.01)I;F16J15/447(2006.01)I | 主分类号 | F16J15/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人 | 王伟 |
| 主权项 | 一种分子牵引型真空动密封结构，用于转子(06)和真空腔室(07)二者之间的动密封，其特征在于，所述转子(06)的密封面和所述真空腔室(07)的密封面二者之间形成密封间隙，所述真空腔室(07)的密封面上设有导引槽，所述导引槽的出口与排气腔连通，其中，高速旋转的所述转子(06)将动量传递给气体分子，所述气体分子在所述导引槽内被牵引至所述排气腔(33)中。 | ||
| 地址 | 230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号 | ||