发明名称 |
一种用于超净台的电极探入装置 |
摘要 |
本发明提供一种用于超净台的电极探入装置,包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构,该锁紧机构包括固定法兰、密封法兰、两侧锁紧螺杆,以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件,所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰,高压电极杆的下端设置有接电端。本发明的高压电极杆能够垂直于超净台的台面进行伸缩,并通过锁紧机构进行限位,有效提高了超净台的空间利用率。 |
申请公布号 |
CN106582914A |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201611268064.5 |
申请日期 |
2016.12.31 |
申请人 |
合肥优亿科机电科技有限公司 |
发明人 |
滕海燕 |
分类号 |
B01L9/02(2006.01)I;A61L2/14(2006.01)I;A61L2/10(2006.01)I |
主分类号 |
B01L9/02(2006.01)I |
代理机构 |
合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 |
代理人 |
娄岳;金凯 |
主权项 |
一种用于超净台的电极探入装置,其特征在于,包括高压电极杆(10)以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构(20),该锁紧机构包括固定法兰(21)、密封法兰(22)、两侧锁紧螺杆(23),以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件(24),所述高压电极杆(10)依次穿过台面、固定法兰和密封法兰,高压电极杆的下端设置有接电端(11)。 |
地址 |
230888 安徽省合肥市高新区天达路2号安徽大学科技园内创新楼405 |