发明名称 一种用于超净台的电极探入装置
摘要 本发明提供一种用于超净台的电极探入装置,包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构,该锁紧机构包括固定法兰、密封法兰、两侧锁紧螺杆,以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件,所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰,高压电极杆的下端设置有接电端。本发明的高压电极杆能够垂直于超净台的台面进行伸缩,并通过锁紧机构进行限位,有效提高了超净台的空间利用率。
申请公布号 CN106582914A 申请公布日期 2017.04.26
申请号 CN201611268064.5 申请日期 2016.12.31
申请人 合肥优亿科机电科技有限公司 发明人 滕海燕
分类号 B01L9/02(2006.01)I;A61L2/14(2006.01)I;A61L2/10(2006.01)I 主分类号 B01L9/02(2006.01)I
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人 娄岳;金凯
主权项 一种用于超净台的电极探入装置,其特征在于,包括高压电极杆(10)以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构(20),该锁紧机构包括固定法兰(21)、密封法兰(22)、两侧锁紧螺杆(23),以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件(24),所述高压电极杆(10)依次穿过台面、固定法兰和密封法兰,高压电极杆的下端设置有接电端(11)。
地址 230888 安徽省合肥市高新区天达路2号安徽大学科技园内创新楼405