发明名称 |
一种金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂 |
摘要 |
本发明涉及一种金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂,该金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂包括:高分子分散剂10~30重量份,渗透剂0.1~5重量份,溶剂5~10重量份,水45~70重量份,缓蚀剂0.001~0.1重量份。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明的金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂具有的优异的渗透作用,加速胶层与硅片的剥离速度,同时也可以使硅片表面吸附的由于切割过程中产生的硅粉、碳化硅微粉、树脂微粉等脏污的剥离,达到硅片预清洗功能,并且不会对操作工人皮肤造成损伤,无刺激性气味,用量也较小。 |
申请公布号 |
CN106590969A |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201610998156.2 |
申请日期 |
2016.11.14 |
申请人 |
武汉宜田科技发展有限公司 |
发明人 |
杨文勇;洪育林;张震;安冠宇;张旭;印士权 |
分类号 |
C11D1/83(2006.01)I;C11D3/20(2006.01)I;C11D3/28(2006.01)I;C11D3/34(2006.01)I;C11D3/37(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I |
主分类号 |
C11D1/83(2006.01)I |
代理机构 |
武汉国越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 |
代理人 |
李伟涛 |
主权项 |
一种金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂,其特征在于,所述金刚线切割单/多晶硅棒用脱胶剂包括:高分子分散剂10~30重量份,渗透剂0.1~5重量份,溶剂5~10重量份,水45~70重量份,缓蚀剂0.001~0.1重量份。 |
地址 |
438400 湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 |